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近日，机械工业科学技术奖励工作办公室公布了2024年度“机械工业科学技术奖”授奖项目名单，太阳成教师罗飞、韩亚军完成的“智能高速近紫外接近式光刻机关键技术及应用”项目获机械工业科学技术进步二等奖。

据悉，机械工业科学技术奖是机械行业中含金量较高的奖项之一‌，由‌国家批准设立，旨在奖励在机械工业领域做出创造性贡献的组织或个人，获奖项目还有机会被推荐申报国家奖。本年度共收到提名项目1232项，本次共评出拟授奖项目435项。其中技术发明奖34项、科技进步奖401项。

近年来，该项目团队致力于光刻机机电控制环节研究攻关，研制开发了一种应用在晶圆传送装置上的工业机器人手爪，在光刻机机电控制多轴高速联动机构设计及反向间隙高精度补偿算法等关键技术应用研究方面取得了突破，该研究成果将助力赋能该项技术国产化进程。